回路を形成する

Lithography Unitは微細な回路構造を形成します。装置全体を置く空間を確保してください。

加工ウェハーを金・リソグラフィフィルムとともにプロセッサーダイに加工します。上位ダイには配線・ダイヤ・校正済み光学部品も必要です。これらを使う上位ハードウェアを要求する前に接続します。

背面の印のあるポートを接続します。1か所で複数ブロック分を含む機械全体につながります。

ナノ製造モジュールは専用のリソグラフィーレシピを有効にします。

Terminalでこの機械の製品を依頼します。Nebulaが材料を供給し、完成品を保管場所へ戻します。使用中のmodpackで必要な材料・モジュール・時間・FEはJEIまたはEMIで確認してください。