リソグラフィーユニット

Lithography Unitは微細な回路構造を形成します。装置全体を置く空間を確保してください。

ナノ製造モジュールは専用のリソグラフィーレシピを有効にします。

背面の印のあるポートを接続します。1か所で複数ブロック分を含む機械全体につながります。